国内首条12英寸智能传感器晶圆制造产线启动投产

科创板日报7月1日讯，增芯科技12英寸晶圆制造项目近日在广州增城启动投产，该项目建设有国内首条、全球第二条的12英寸MEMS智能传感器晶圆制造产线。项目一期产能预计于2025年底达到2万片／月，一期工艺技术采用MEMS力学传感器和130-55纳米成熟制程。

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