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国产光刻胶通过量产验证!

  1. 来源:长江商报 国芯网
  2. 发布时间:2024-10-17
  3. 浏览次数:27

10月17日消息,中国光谷诞生重大科技成果,湖北企业在半导体专用光刻胶领域实现重大突破。

日前,武汉太紫微光电科技有限公司(简称太紫微公司)在全国率先攻克合成光刻胶所需的原料和配方,我国芯片制造关键原材料取得瓶颈性突破。该公司推出的T150A光刻胶产品,已通过半导体工艺量产验证,实现配方全自主设计,有望开创国内半导体光刻制造新局面。

从性能来看,该产品对标国际头部企业主流KrF光刻胶系列,相较于国外同系列产品UV1610,T150A在光刻工艺中表现出的极限分辨率达120nm,且工艺宽容度更大,稳定性更高,坚膜后烘留膜率优秀。

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长江商报记者注意到,太紫微公司成立至今不到5个月时间。天眼查显示,太紫微公司成立于2024年5月31日,地址位于武汉光谷,是一家以从事研究和试验发展为主的企业,企业注册资本200万元。公司法定代表人为朱明强,持股比例40%,最终受益股份77%。

根据华中科技大学官网,朱明强为华中科技大学武汉光电国家研究中心二级教授,光学与电子信息学院双聘教授,主要研究领域为有机及纳米光电子学,研究方向包括荧光分子开关合成与应用、有机光电材料与器件。朱明强于2018年入选英国皇家化学学会会士,近五年来主要从事荧光分子开关合成及超分辨显微成像、聚集诱导发光、光刻胶,以及先进能源材料和器件等项目的相关研究。

这意味着,太紫微公司的背后,有着华中科技大学武汉光电国家研究中心团队的强力支撑。

武汉光电国家研究中心是科技部于2017年批准建设的第一批、也是唯一一批6个国家研究中心之一,其前身为2003年获批的武汉光电国家实验室。该团队主攻关键光刻胶底层技术研发,已在电子化学品领域深耕20余年。

本次太紫微公司推出的T150A光刻胶产品,堪称业界的一颗新星。太紫微公司负责人朱明强表示,这是我国首次攻克合成光刻胶所需原料和配方,对我国逐步改变在集成电路领域的受制现状具有重大意义。不过从原材料开发起步,最终获得自主知识产权的配方技术,这仅仅是初步成果。未来团队还将研发一系列适用于不同场景的KrF与ArF光刻胶,为国内相关产业带来更多创新与突破

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