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奥松半导体项目8英寸线首台光刻机进场

  1. 来源:SEMI
  2. 发布时间:2025-7-17
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据西部重庆科学城官微消息,7月14日,重庆奥松半导体特色芯片产业基地(下称“奥松半导体项目”)8英寸生产线首台光刻机设备正式进场。

首台光刻机的成功搬入,意味着产线正式进入设备安装调试阶段,距离8月底通线试产、第四季度产能爬坡并交付客户的既定目标指日可待。这一目标的实现,将实现各类MEMS半导体传感器产品从研发到量产的无缝衔接。

据悉,奥松半导体项目计划总投资35亿元,涵盖8英寸特色传感器芯片量产线、8英寸MEMS特色晶圆快速研发线、智能传感器创新研发中心、车规级传感器可靠性检测中心、产学研科研中心及奥松半导体研发办公大楼等。技术能力覆盖各类MEMS特色工艺,形成了一个完整、高效的产业生态系统,可实现各类MEMS半导体传感器产品从研发到量产的无缝衔接,为产业发展提供全方位支持。

未来几天,将陆续搬入用于晶圆制造、封装测试、模块生产、系统应用等各类工艺和辅助设备,全部设备计划于月底前搬入完成,第2台光刻机也将于8月搬入。待一期项目达产后,将形成每月10000  - 20000片晶圆的产能,为市场提供稳定、优质的产品供应,满足不断增长的市场需求。

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