“电子科技大学化合物半导体中试平台”获成都高新区中试平台认定
近日,成都高新区科技创新局正式公布2025年第一批中试平台认定名单,[电子科技大学化合物半导体中试平台]成功获选!
电子科技大学化合物半导体中试平台
电子科技大学化合物半导体中试平台依托国家集成电路产教融合创新平台(电子科技大学)建设运营,总投资超2亿元。下设IC设计、前道工艺、封装测试三大子平台,拥有相关设备150余台/套,建成一条6/8英寸集成电路制造中试线,具备0.18 μm及以上晶圆级加工能力,并向下兼容实验级碎片。
平台立足电子科大在宽禁带功率半导体、微波毫米波、封装与微系统集成等特色方向的学科优势与技术积累,由国家级领域专家掌舵,以具有丰富行业经验和深厚学术底蕴的技术团队为主体,采用市场化运营模式,为全国范围内的高校、院所、企业提供概念验证、小规模试验、中试熟化等专业化服务和系统化解决方案,助力关键技术攻关,加速成果转化落地。
服务内容
1、 仪器设备共享:面向全社会开展仪器设备共享,形式包括:自主操作、委托加工等。
2、联合开发:双方整合技术、人才资源,协同推进技术攻关、产品研发等创新合作。
3、 关键材料验证:光刻胶、显影液、研磨抛光液等领域关键材料的国产化替代验证。
4、 设备应用验证:半导体设备及核心零部件的国产化替代验证。
服务成效
2025年3月试运行以来,已对接包括行业头部在内的40余家科技企业与高校科研团队,业务涵盖化合物半导体功率/射频器件、先进存储器件、Si基MEMS器件等领域以及国产材料/设备验证。

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