日前，天津绿菱气体有限公司绿菱电子研发产业化基地项目举行奠基仪式。随着一锹锹土的培下，又一项滨海新区重点建设项目建成指日可待。该项目位于天津经济技术开发区南港工业区，预计明年3月投入运行，研发生产产品将解决国家关键半导体材料的“卡脖子”技术难题，满产后预计年销售收入超过25亿元。

电子气体是发展集成电路、光电子、微电子，特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造过程中不可缺少的基础性支撑性原材料。绿菱集团公司是国内领先的特种气体产品与服务提供商，为国内及全球多个著名芯片制造商提供产品和服务，公司打破了此前中国特种气体被国外垄断的历史，为中国集成电路产业发展与关键材料突破提供坚实支撑。

正在建设中的绿菱电子研发产业化基地是绿菱集团重要生产基地之一，拟建成年产6000吨、47种电子特种气体产品，服务于半导体集成电路、光伏、光纤等高精尖领域。项目占地54455.89㎡，建筑面积24453.36㎡，总建设投资3.2亿元，年度计划投资2亿元，计划于2021年3月建成。满产后，项目预计年销售收入25.68亿元，利税2.12亿元，解决就业岗位150个。

“项目建成后，有3个车间、5个库房，还有配套的综合楼、公用配套设施等。”作为项目负责人，天津绿菱气体有限公司总经理马建修指着项目施工图纸告诉记者。

“2008年，绿菱集团在天津武清区投资设厂，研发、生产各种电子特种气体。近年来，天津大力发展半导体产业，形成了良好的产业基础。我们实际上就是要紧跟半导体产业发展步伐，进行产品技术更新迭代，绿菱电子研发产业化基地建成后，将大大扩展产品种类，抢占市场先机。”绿菱集团副总裁王新鹏表示。随着半导体先进制程的更新换代，日益紧迫的材料国产化替代进程，绿菱气体有限公司将加大研发力度，加快研发的进度，为天津半导体产业的发展提供更好的产品和配套服务，不断推动新一代特种气体在我国高精尖领域的应用。

据马建修介绍，项目研发生产的关键电子特种气体主要解决我国超大规模集成电路先进制程中的材料制约问题，为国家集成电路配套新材料产业提供重要保障。天津绿菱气体有限公司将与京津冀相关集成电路制造企业实现协同发展，形成半导体产业聚集效应，推动天津传统制造业向高端智能制造转型升级。