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与EUV光刻机完成对接,国产半导体设备传来好消息:已解决技术问题

  1. 来源:摩尔芯闻
  2. 发布时间:2021-4-9
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由于起步较晚,中国在半导体制造设备领域较为落后,若想实现突破芯片封锁,首先就必须摆脱制造设备的依赖。比如大家熟知的EUV光刻机,全球只有荷兰的ASML公司能够生产。 

近些年,我国相关企业一直在半导体设备领域加大研发投入力度,并取得了一系列成绩。继清华大学突破光源技术后,国产EUV光刻机已经跃然纸上。蚀刻机方面,中微半导体已达到全球领先水准;离子注入机方面,中国电科实现了全谱系国产化。 

可以预见的是,即便我们不能迅速地实现科技自主,但国产芯片产业已经步入了快车道,各细分领域的头部企业都在发力,那些垄断技术设备正在一个个地被攻克。 

近日,业界再次传来国产半导体设备的好消息。芯源微公司已经完成了涂胶显影机设备的技术攻关,核心技术问题已经解决。除了与日本佳能、上海微电子的光刻机达成联机应用协议外,与荷兰ASML的EUV光刻机也已完成对接!

 前道涂胶显影机是芯片制造链中必不可少的设备,是光刻机进行光刻的前道工序,主要用途是负责对晶圆涂抹光刻胶,其工艺精度很大程度上决定了生产出来芯片的良品率。此前一直被日、美等企业垄断。 


虽然芯源微自研的前道涂胶显影机还没有达到全球最顶尖的水平,但是差距并不大,完全可以实际应用。这意味着,我们无需担心该设备在未来是否会被断供。 

总体来看,我国的芯片制造产业链上并没有偏科现象,什么设备都有,但在性能方面,与国际巨头还有差距。 

技术设备的研发并非一朝一夕,我们由于起步晚落下的功课已经在加班加点地补了。而且,经过这段刻骨铭心的“卡脖子”之痛,国产企业已经彻底走出了“拿来主义”的温室,开始注重自研、注重创新。 

另外,国家政策的扶持,给国产半导体的茁壮成长提供了肥沃的土壤,在芯片国产化浪潮的推动下,我们已经实现了最艰难的从0到1,至于接下来的从1到99,相信会来得更快。

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