日本DISCO研发新型晶圆切割机,碳化硅切割速度提高10倍
集微网消息,日本晶圆设备制造商DISCO于2023年12月推出全新的Sic切割设备,可将碳化硅晶圆的切割速度提高10倍,首批产品已交付客户。由于碳化硅的硬度仅次于金刚石和碳化硼(硬度是硅的1.8倍),因此切割难度较大。统计数据显示,DISCO在晶圆切割和研磨机领域占据70-80%市场份额,公司市值在2023年增长三倍,并且研发支出创下了250亿日元(约合1.75亿美元)的新高。DISCO当前的重点是HBM和碳化硅晶圆切割设备。尽管美国和日本加强了半导体设备对中国出口管制,但DISCO在中国市场的收入暂时未受到影响。截至2022年3月,该公司约31%的收入来自中国,2023年7-9月增加至34%。