MEMS激光雷达因为只需要一个激光器和MEMS微镜组合就能实现激光脉冲的扫描，且采用半导体工艺，装配简单，被认为是降低激光雷达整体装车成本的主要技术路线。国内一些激光雷达整机企业，如禾赛科技、速腾聚创、镭神智能、北科天绘、华为等，已经在使用国产MEMS微镜芯片开始定点项目量产MEMS激光雷达。

为进一步降低MEMS激光雷达的装车成本，提高装车数量，增强激光雷达的探测面积和探测距离，增大视野（FoV），加大微镜镜面面积以增大MEMS微镜的接收和发射口径是最为有效的途径。但随之带来的问题是整个MEMS微镜抗振动和冲击的性能下降，在车规级测试环境中，容易发生镜面断裂。

据麦姆斯咨询报道，为解决以上问题，麦莫斯成都科技有限公司（简称：麦莫斯）研发出面向MEMS激光雷达微镜的隔振器，有效降低微镜在振动和冲击实验过程中的应力，确保产品的稳定工作和长期可靠性。

图1 隔振器样品

麦莫斯的隔振器采用全硅刻蚀，能够实现大批量的工业化批产，衬底采用玻璃基材料，两种材料的热膨胀系数匹配良好。

图2 微镜和隔振器模块测试

微镜和隔振器集成装配模块产品在30g~60g冲击环境下测试，单独微镜在40g发生断裂，带隔振器的微镜和隔振器模组整体完整，功能性能正常。
整体产品已经通过20Hz~2000Hz振动测试，在XYZ三个方向均能实现较好的隔振效果，隔振性能达到-10dB~-25dB，产品工作温度-40℃~-120℃，在1500g冲击测试下，隔振器结构完好。

该隔振器产品已经在国内完成3轮流片，可进行全国产化批产。同时公司已经和国内某大型行业领军企业开展超大镜面MEMS激光雷达样机的生产。隔振器产品不仅可用于激光雷达微镜的减震，同时可应用于精密光学和可穿戴成像感光芯片的防抖，可与国内相关企业开展光学产品研制合作。

关于麦莫斯成都科技有限公司

麦莫斯成都科技有限公司由电子科技大学周吴教授牵头成立，是一家聚焦MEMS高精度惯性和导航器件研制的高新技术企业。周吴教授是中国工程物理研究院与西南交通大学联合培养的博士，具备10年以上MEMS器件研制和中试线产品工艺调试经验，参与中物院4寸中试线的建设和调试，完成多个军工级MEMS传感器产品上装。麦莫斯面向惯性导航的市场需求，工业化批产±30g量程的高精度加速度传感器。该产品分辨率达到60ug，标度因子开/关重复性(max)- 2.55%/g，偏值温度系数(max) 200ug/℃，标度因子温度系数 (max) 100ppm/℃，具有较高的重复一致性和零偏稳定性。